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氦氣回收凈化處理系統主要由氦氣抽排入口處理系統、氦氣回收動力系統，壓力調節及流量補充系統以及氦氣提純設備組成。
二、設計思路：
根據貴公司提供的數據和現場要求，本系統采用一套3.5Nm³/min氦氣回收壓縮機系統為一級回收系統。緩沖氣囊做為緩沖平衡壓力和簡單的儲存，在進入氦氣壓縮機前進行氦氣脫水干燥，使氦氣的露點達到10ppm以上，這樣壓縮機從常壓經過四級壓縮，使壓力達到20MPa的壓力，由于是采用了微油增壓機增壓，會有少量的油物的二次污染，所以必須增加加高壓除油器除油和高壓過濾器除塵，然后在進入低溫液化系統，對于氮氣和氧氣等雜質氣體進行液化處理，使之達到99。999%的純度的氦氣。系統自動化控制，方便系統維護，保證氦氣回收系統穩定運行，這樣即保證了系統的經濟性和可靠性， 也保證了整個生產的安全性。
第三章 設備特點
一、氮氣回收動力系統
1.1、氦氣回收壓縮機：氦氣回收壓縮機選用英國微油壓縮機，具有運行穩定，價格適中，回收率高。系統設備無需潤滑處理，氣源沒有二次污染。設備故障率低。噪音低于80分貝。
1.2、壓力調節系統：由于增壓機工作時，對于進口壓力需要很穩定，回收的氣量也很大，就用大型氣囊作為緩沖器，保證了回收壓力的穩定性和壓縮機的進口壓力的工作狀態，出口壓力壓力也就相對很穩定。
二、塵埃過濾冷卻系統：由于介質在回收時會有二次的塵埃污染，回收后在高壓出口端必須經過塵埃和油物處理后才可進入低溫處理系統。
三、氦氣純化系統：主要是氦氣在回收時產生的氧氣泄露進行處理和干燥，達到高純氦的目的，保證回收后氦氣品質。考慮到現場狀況，采用低溫高壓液化的方法，這樣可以確保氦氣能很好的脫出雜質氣體。經過低溫液化和氦氣后保證氦氣純度達到99.999%的高純氦氣標準，提純后達到露點-70℃以上的露點。
四、電器系統：根據使用工藝要求的變化，調節修改壓力變化，工控上位機實時監控回收時的瞬間和全部設備工作狀態。