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利用固體吸附劑對氣體組份吸附的明顯選擇性和擴散性的差異，通過氣源在接近常壓下做周期性、在不同的吸附器中循環變化，其解吸（或再生）采用真空抽吸的方式來實現氣體的分離過程。
設備特點
投資省，裝置安裝周期較深冷裝置短，土建工作量小；
能耗較低，生產每方氧氣的電耗≤0.5 kW；
自動化程度高，操作人員少；
裝置啟動快，開停機方便；
維護和保養費用低；
裝置運行穩定性、可靠性高；
氣動控制閥門全部進口，安全可靠，使用壽命長；
主要控制設備全部進口，可根據吸附塔內壓力的變化而自動調節閥門開度以維持正常生產；
采用原裝進口專用氧分子篩吸附劑，吸附性能好。
應用領域
一．鋼鐵行業
高爐、轉爐和電弧爐的強化冶煉等
二．化學工業
改變產品分子結構，提高乙烯、丙烯、氯化物工藝的生產能力。
三．造紙工業
紙漿生產、漂白、化學品回收等。
四．金屬生產和加工
五．提高爐溫強化金屬冶煉，金屬焊接和切割等。
五．玻璃制造業
提高爐窯溫度，減少氮化物排放滿足環保法規等。
六．石油化工
石油提取和精制，增加油、氣井產量和脫硫等。
七．其他使用領域
 固體垃圾焚燒用氧氣助燃，燃燒溫度高，有利于降低垃圾燃燒過程產生的煙氣量及有害物質的含量。垃圾焚燒過程產生的熱量可回收利用，用于供暖和發電。
 水泥生產使用富氧可增加爐的產量并延長使用壽命，同時有利于環境保護。
 醫院呼吸用氧、家庭用氧等。
 臭氧生產的氧源、窯爐助燃、地下水維護、農業廢物處理等。
工藝流程圖
 

 
AF1過濾器SL消音器AB鼓風機MS吸附器
PV1氧氣平衡器PV2氧氣儲罐OC氧壓機VP真空泵
 
工藝流程原理
低壓吸附真空解吸，即在穿透大氣壓（風壓）的條件下，利用VPSA專用分子篩與干燥劑形成的混合床層選擇性吸附空氣中的氮氣、二氧化碳和水等雜質，令氧在床層末端聚積并收集，在抽真空的條件下對吸附飽和狀態的分子篩床層進行解吸，從而循環制得純度較高的氧氣（90～95%）。VPSA能耗較低，制氧設備越大其能耗越低。
 
技術指標
氧氣產量：100～3000Nm3/h
氧氣純度：28～95%之間可調
出口壓力：0.015～0.05MPa(可調)